Substrate holding device

WO2005071736 Art A1 4. August 2005

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005071736
Aktenzeichen: EP05704002
Anmeldetag: 21. Januar 2005
Veröffentlichung: 4. August 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B65G49/07B25J15/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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