Controlled nanowire in permanent integrated nano-templates and method of fabricating sensor and transducer structures

WO2005072089 Art A2 11. August 2005

Anmelder: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005072089
Aktenzeichen: EP04821260
Anmeldetag: 13. Dezember 2004
Veröffentlichung: 11. August 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: THE PENN STATE RESEARCH FOUNDATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Penn State Research Foundation

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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