Method and device for supporting plate member, stage device, exposure device, and method of manufacturing device

WO2005074015 Art A1 11. August 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005074015
Aktenzeichen: EP05709450
Anmeldetag: 28. Januar 2005
Veröffentlichung: 11. August 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B7/198G03F9/02G12B5/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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