Substrate holding tool and substrate treating device for treating semiconductor

WO2005076343 Art A1 18. August 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005076343
Aktenzeichen: EP05709289
Anmeldetag: 24. Januar 2005
Veröffentlichung: 18. August 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/22H01L21/205B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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