Piezoelectric thin-film electromechanical microsystem device

WO2005078752 Art A1 25. August 2005

Anmelder: CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005078752
Aktenzeichen
EP05701004
Anmeldetag
12. Januar 2005
Veröffentlichung
25. August 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01H1/00H03H3/007
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement

CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique ist ein Schweizer Forschungsinstitut für Mikrotechnik, Elektronik und angewandte Wissenschaften. Der Patentbestand konzentriert sich auf Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter-, Medizin- und Optiktechnik.

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