Pattern Forming Process

WO2005078776 Art A1 25. August 2005

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005078776
Aktenzeichen: EP05710157
Anmeldetag: 4. Februar 2005
Veröffentlichung: 25. August 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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