Fluorine-containing cyclic compound, fluorine-containing polymer compound, resist material using same and method for forming pattern

WO2005080306 Art A1 1. September 2005

Anmelder: CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005080306
Aktenzeichen
EP05719202
Anmeldetag
17. Februar 2005
Veröffentlichung
1. September 2005
Rechtsraum
WO
IPC
C07C49/573C07C31/44C07C33/44C07C49/507C07C69/54C08F16/24C08F20/28C08F32/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CENTRAL GLASS COMPANY, LIMITED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Central Glass

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.

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