Two-dimensional light modulation device, exposure apparatus, and exposure method

WO2005081034 Art A1 1. September 2005

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005081034
Aktenzeichen: EP05719447
Anmeldetag: 23. Februar 2005
Veröffentlichung: 1. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08G02F1/01G03F1/08G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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