Resist laminate used for immersion lithography

WO2005081063 Art A1 1. September 2005

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005081063
Aktenzeichen: EP05719080
Anmeldetag: 14. Februar 2005
Veröffentlichung: 1. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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