Light-sensitive substrate and method for patterning

WO2005081065 Art A1 1. September 2005

Anmelder: NIPPON SODA CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005081065
Aktenzeichen: EP05710417
Anmeldetag: 18. Februar 2005
Veröffentlichung: 1. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/11G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIPPON SODA CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Soda

Nippon Soda ist ein japanischer Chemiekonzern mit Schwerpunkt auf Agrochemikalien und Feinchemikalien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf organische Chemie sowie Landwirtschafts- und Nahrungsmitteltechnik, ergänzt durch Kunststoff- und Pharmathemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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