Design and fabrication method for microsensor

WO2005083376 Art A1 9. September 2005

Anmelder: QINETIQ LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005083376
Aktenzeichen
EP05708455
Anmeldetag
24. Februar 2005
Veröffentlichung
9. September 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G01J5/20G01J5/34H01L27/146
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
QINETIQ LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 QinetiQ

Britisches Unternehmen für Verteidigungs- und Sicherheitstechnologie mit Sitz in Farnborough, hervorgegangen aus Teilen der staatlichen Defence Evaluation and Research Agency.

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