Characterizing an Electron Beam Treatment Apparatus

WO2005083740 Art A1 9. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., Elsheref, Khaled, Demos, Alexandros, T., M'Saad, Hichem 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005083740
Aktenzeichen: EP05712660
Anmeldetag: 3. Februar 2005
Veröffentlichung: 9. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Elsheref, Khaled
Demos, Alexandros, T.
M'Saad, Hichem
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von