Test system with integrated substrate transfer module

WO2005083749 Art A1 9. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005083749
Aktenzeichen: EP04815299
Anmeldetag: 21. Dezember 2004
Veröffentlichung: 9. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00G01R31/26G09G3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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