Contaminant reducing support system

WO2005083752 Art A2 9. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., Parkhe, Vijay D., Leopold, Matthew, Ronan, Timothy, Martin, Todd W., Ng, Edward, Khurana, Nitin, Suh, Song-Moon, Fay, Richard, Hagerty, Christopher, Rice, Michael, Angelo, Darryl, Ahman, Kurt J., Tsai, Matthew C., Sansoni, Steve 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005083752
Aktenzeichen: EP05713962
Anmeldetag: 23. Februar 2005
Veröffentlichung: 9. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Parkhe, Vijay D.
Leopold, Matthew
Ronan, Timothy
Martin, Todd W.
Ng, Edward
Khurana, Nitin
Suh, Song-Moon
Fay, Richard
Hagerty, Christopher
Rice, Michael
Angelo, Darryl
Ahman, Kurt J.
Tsai, Matthew C.
Sansoni, Steve
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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