Production method for semiconductor device and semiconductor device

WO2005083764 Art A1 9. September 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Hosiden Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005083764
Aktenzeichen: EP05719629
Anmeldetag: 28. Februar 2005
Veröffentlichung: 9. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/301B81C1/00G01D5/24H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Hosiden Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hosiden

Hosiden ist ein japanischer Hersteller von elektronischen Steckverbindern, Sensoren und Wandlerkomponenten. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch Software und Optik für Verbindungstechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

480 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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