Methods and apparatuses promoting adhesion of dielectric barrier film to copper

WO2005083777 Art A1 9. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005083777
Aktenzeichen
EP05712907
Anmeldetag
3. Februar 2005
Veröffentlichung
9. September 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/768H01L21/31
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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