Transmissionsfiltervorrichtung

WO2005085955 Art A2 15. September 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005085955
Aktenzeichen: EP05715637
Anmeldetag: 1. März 2005
Veröffentlichung: 15. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B5/20G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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