Silicide Formed From Ternary Metal Alloy Films

WO2005086567 Art A2 22. September 2005

Anmelder: Agency for Science, Technology and Research 🇸🇬

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005086567
Aktenzeichen: EP05739486
Anmeldetag: 15. März 2005
Veröffentlichung: 22. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/285C23C14/16C23C14/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Agency for Science, Technology and Research
Land: 🇸🇬 Singapur

🇸🇬 Agency for Science, Technology and Research

Staatliche Forschungsorganisation Singapurs (bekannt als A*STAR), zuständig für angewandte Forschung in Biomedizin, Physik und Ingenieurwissenschaften. Fördert Technologietransfer zwischen Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von