Substrate transfer equipment and substrate transfer system provided with the substrate transfer equipment

WO2005087632 Art A1 22. September 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005087632
Aktenzeichen: EP05710722
Anmeldetag: 25. Februar 2005
Veröffentlichung: 22. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B65G49/06H01L21/68H05B33/10H05B33/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

444 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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