Al composite material being crumbled with water, al film and al powder comprising the material and methods for preparation thereof, constitutional member for film-forming chamber method for recovering film-forming material
WO2005087968
Art A1
22. September 2005
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005087968
- Aktenzeichen
- EP05719986
- Anmeldetag
- 4. März 2005
- Veröffentlichung
- 22. September 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C4/00B22F1/02B22F9/08
Abstract
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Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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