Treatment liquid feeding system and filter device

WO2005088685 Art A1 22. September 2005

Anmelder: Hirata Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005088685
Aktenzeichen: EP04720985
Anmeldetag: 16. März 2004
Veröffentlichung: 22. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/26B01D19/00B01D29/00B01D35/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hirata Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hirata

Hirata ist ein japanischer Hersteller von Automatisierungs- und Fertigungsanlagen, unter anderem für die Elektronik- und Displayindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verpackungs- und Fördertechnik sowie Werkzeug- und Fertigungstechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Die Titel betreffen Pressvorrichtungen und Produktionsverfahren für Displayeinheiten.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von