Distributor and distributing method, plasma processing system and method, and process for fabricating lcd

WO2005088763 Art A1 22. September 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Ohmi, Tadahiro, Goto, Naohisa 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005088763
Aktenzeichen: EP04719046
Anmeldetag: 10. März 2004
Veröffentlichung: 22. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01P5/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Ohmi, Tadahiro
Goto, Naohisa
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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