Optical system alignment system and method with high accuracy and simple operation
WO2005089506
Art A2
29. September 2005
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005089506
- Aktenzeichen
- EP05741221
- Anmeldetag
- 21. März 2005
- Veröffentlichung
- 29. September 2005
- Rechtsraum
- WO
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
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