Refurbishment of sputtering targets

WO2005090629 Art A2 29. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., Doan, Trung T., Ngan, Kenny King-Tai 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005090629
Aktenzeichen: EP05733203
Anmeldetag: 14. März 2005
Veröffentlichung: 29. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Doan, Trung T.
Ngan, Kenny King-Tai
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von