Surface treating agent for substrate for use in lithography
WO2005091070
Art A1
29. September 2005
Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005091070
- Aktenzeichen
- EP05720990
- Anmeldetag
- 17. März 2005
- Veröffentlichung
- 29. September 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/004C09D183/08C09K3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Daikin Industries
Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.
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