Surface treating agent for substrate for use in lithography

WO2005091070 Art A1 29. September 2005

Anmelder: DAIKIN INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005091070
Aktenzeichen
EP05720990
Anmeldetag
17. März 2005
Veröffentlichung
29. September 2005
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/004C09D183/08C09K3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Daikin Industries

Japanischer Hersteller von Klima- und Kältetechnik mit Sitz in Osaka. Daikin entwickelt Klimaanlagen, Wärmepumpen, Kältemittel und Fluorchemikalien für Gebäude- und Industrieanwendungen.

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