Apparatus and method for directing gas towards a specimen

WO2005091328 Art A1 29. September 2005

Anmelder: Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials, Inc. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005091328
Aktenzeichen: EP05725571
Anmeldetag: 14. März 2005
Veröffentlichung: 29. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials, Inc.
Land: 🇮🇱 Israel

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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