Method of depositing an amorphous carbon film for metal etch hardmask application

WO2005091349 Art A1 29. September 2005

Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005091349
Aktenzeichen: EP05725310
Anmeldetag: 9. März 2005
Veröffentlichung: 29. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3213H01L21/033H01L21/027H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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