Method for detecting transfer shift of transfer mechanism and semiconductor processing equipment

WO2005091355 Art A1 29. September 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005091355
Aktenzeichen: EP05719392
Anmeldetag: 22. Februar 2005
Veröffentlichung: 29. September 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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