Method of supercritical treatment and apparatus for use therein

WO2005092487 Art A1 6. Oktober 2005

Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005092487
Aktenzeichen: EP05727138
Anmeldetag: 25. März 2005
Veröffentlichung: 6. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: B01J3/00B01J3/04H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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