System and method for controlling pressure in remote zones

WO2005093304 Art A1 6. Oktober 2005

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005093304
Aktenzeichen: EP05722746
Anmeldetag: 1. Februar 2005
Veröffentlichung: 6. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: F16K31/12F16K31/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS INSTRUMENTS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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