Process for forming permanent pattern

WO2005093793 Art A1 6. Oktober 2005

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005093793
Aktenzeichen: EP05721639
Anmeldetag: 23. März 2005
Veröffentlichung: 6. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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