Semiconductor manufacturing equipment and method for manufacturing semiconductor device

WO2005093806 Art A1 6. Oktober 2005

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005093806
Aktenzeichen: EP05720002
Anmeldetag: 4. März 2005
Veröffentlichung: 6. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/31H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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