Plasma generation power supply apparatus

WO2005094138 Art A1 6. Oktober 2005

Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005094138
Aktenzeichen: EP04792531
Anmeldetag: 18. Oktober 2004
Veröffentlichung: 6. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H05H1/46C01B13/11H01L21/3065H01T23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Electric

Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.

18.870 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von

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