Film forming apparatus and film forming method

WO2005098081 Art A1 20. Oktober 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005098081
Aktenzeichen: EP05727898
Anmeldetag: 29. März 2005
Veröffentlichung: 20. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34G02B5/30H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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