Porous Valve Assembly

WO2005098294 Art A2 20. Oktober 2005

Anmelder: MKS INSTRUMENTS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005098294
Aktenzeichen
EP05732238
Anmeldetag
24. März 2005
Veröffentlichung
20. Oktober 2005
Rechtsraum
WO
IPC
F16K31/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MKS INSTRUMENTS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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