Radiation-sensitive composition, multilayer body and method for producing same, and electronic component

WO2005098539 Art A1 20. Oktober 2005

Anmelder: Zeon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005098539
Aktenzeichen: EP05721244
Anmeldetag: 22. März 2005
Veröffentlichung: 20. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/038H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Zeon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Zeon

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Zeon Corporation entwickelt synthetische Kautschuke, Spezialchemikalien und Elastomere für Anwendungen in Automobil-, Elektronik- und Batterieindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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