Process for producing semi-conductor coated substrate

WO2005098930 Art A2 20. Oktober 2005

Anmelder: THE BOC GROUP, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005098930
Aktenzeichen
EP05725899
Anmeldetag
17. März 2005
Veröffentlichung
20. Oktober 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/461
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
THE BOC GROUP, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇬🇧 The BOC Group

The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.

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