Equipment and method for processing semiconductor

WO2005098934 Art A1 20. Oktober 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005098934
Aktenzeichen: EP05719485
Anmeldetag: 24. Februar 2005
Veröffentlichung: 20. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68B25J9/06B25J13/08B65G49/07

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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