A micro-flap type nano/micro mechanical device and fabrication method thereof
WO2005099087
Art A1
20. Oktober 2005
Anmelder: Seiko Epson Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005099087
- Aktenzeichen
- EP05718366
- Anmeldetag
- 6. April 2005
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H03H9/00H03H3/007B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Seiko Epson Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Epson
Japanisches Unternehmen, das Drucker, Scanner, Projektoren sowie Uhrwerke und Sensortechnik entwickelt und herstellt.
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