Method of packaging mems device in vacuum state and mems device vacuum-packaged using the same
WO2005100236
Art A1
27. Oktober 2005
Anmelder: Seoul National University Industry Foundation 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005100236
- Aktenzeichen
- EP04808497
- Anmeldetag
- 21. Dezember 2004
- Veröffentlichung
- 27. Oktober 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Seoul National University Industry Foundation
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Seoul National University Industry Foundation
Die Seoul National University Industry Foundation ist die Technologietransfer-Organisation der Seoul National University in Südkorea. Das Patentportfolio verteilt sich auf Medizintechnik und Gesundheit, Pharma und Biotechnologie sowie Nachrichtentechnik, ergänzt durch organische Chemie und Halbleitertechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2021.
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