System and method for the identification of chemical mechanical planarization defects

WO2005100976 Art A2 27. Oktober 2005

Anmelder: UNIVERSITY OF SOUTH FLORIDA 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005100976
Aktenzeichen: EP05733000
Anmeldetag: 8. April 2005
Veröffentlichung: 27. Oktober 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01N29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: UNIVERSITY OF SOUTH FLORIDA
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of South Florida

Die University of South Florida ist eine öffentliche US-Universität mit Sitz in Tampa. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und Gesundheit sowie Pharma und organische Chemie, ergänzt durch Mess- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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