Method and system for fastening components used in plasma processing

WO2005103507 Art A1 3. November 2005

Anmelder: Tokyo Electron Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005103507
Aktenzeichen: EP05712457
Anmeldetag: 27. Januar 2005
Veröffentlichung: 3. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: F16B21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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