Verfahren zum Verbinden eines Optischen Elements mit einer Haltestruktur

WO2005103788 Art A1 3. November 2005

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005103788
Aktenzeichen: EP05730956
Anmeldetag: 16. April 2005
Veröffentlichung: 3. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G02B7/00G03F7/20B23K1/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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