Honeycomb optical window deposition shield and method for a plasma processing system

WO2005104164 Art A2 3. November 2005

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005104164
Aktenzeichen: EP05712466
Anmeldetag: 27. Januar 2005
Veröffentlichung: 3. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01J7/24H01J17/26C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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