Thin-film transistor and production method therefor

WO2005104239 Art A1 3. November 2005

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005104239
Aktenzeichen: EP05734469
Anmeldetag: 25. April 2005
Veröffentlichung: 3. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/786H01L21/318H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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