Detector and stage device

WO2005106385 Art A1 10. November 2005

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD., Tohoku Techno Arch Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005106385
Aktenzeichen: EP05734579
Anmeldetag: 19. April 2005
Veröffentlichung: 10. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/00G01D5/38G03F7/20H01L21/027H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Tohoku Techno Arch Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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