Device and method for determining an illumination intensity profile of an illuminator for a lithography system
WO2005106594
Art A2
10. November 2005
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., Advance Micro Devices, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005106594
- Aktenzeichen
- EP05737748
- Anmeldetag
- 20. April 2005
- Veröffentlichung
- 10. November 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Advance Micro Devices, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
2.407 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.