Fluorine-containing copolymer, method for producing same and resist composition containing same

WO2005108446 Art A1 17. November 2005

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2005108446
Aktenzeichen: EP05737207
Anmeldetag: 6. Mai 2005
Veröffentlichung: 17. November 2005
Rechtsraum: WO
IPC: C08F236/20C08F220/10C08L47/00G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von