Method and apparatus for forming combinatorial film
WO2005108640
Art A1
17. November 2005
Anmelder: National Institute for Materials Science 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2005108640
- Aktenzeichen
- EP04792973
- Anmeldetag
- 20. Oktober 2004
- Veröffentlichung
- 17. November 2005
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/56C23C14/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- National Institute for Materials Science
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
National Institute for Materials Science
Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.
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