Polishing composition and substrate polishing method

WO2005109481 Art A1 17. November 2005

Anmelder: Nitta Haas Incorporated, Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2005109481
Aktenzeichen
EP05739163
Anmeldetag
10. Mai 2005
Veröffentlichung
17. November 2005
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/00C09K3/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Nitta Haas Incorporated
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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